物理和化学过程广泛用于综合化学废水的预处理和深度处理。混凝沉淀，气浮和吸附等典型的物理方法通常用于综合化学废水的预处理单元。此外，先进的化学氧化，微电解技术和膜技术在综合化学废水的预处理和深度处理中也有很好的应用。
先进的化学氧化
化学氧化主要使用氧化剂将难以降解的全部或部分复杂有机化合物氧化为更容易降解的单质，从而达到处理目的。然而，在处理综合化学废水时，常用的氧化剂显示出不足的氧化能力并且具有选择性氧化的缺点。釉等。 1987年提出了先进的氧化方法（AOPs），该方法通过光化学氧化，电化学氧化和声化学氧化等先进的氧化过程产生比普通化学氧化剂更高的羟基自由基（·OH）。 Shang等。使用O3和O3 / UV工艺分别处理含甲基丙烯酸甲酯（MMA）的半导体废水。结果表明，O3可以显着提高MMA的去除率。单独使用O3的反应速度较慢，与UV结合使用可提高反应速度。 O3 / UV工艺可以完全矿化MMA及其中间氧化产物。王勇等。将酚醛树脂与光催化剂TiO2混合，经碳化活化处理后制成复合催化材料，用于处理含酚废水。结果表明，该材料能有效分解和吸附废水中的苯酚。
微电解技术
微电解技术基于原电池的金属腐蚀原理。铁屑表面形成许多微小的原电池。污染物在电极上进行直接或间接的电化学转化，电解会产生消毒剂OH和活性氯。微电解技术通常用于预处理含高浓度盐和高浓度有机物的耐火废水。周等。使用微电解接触氧化法处理混合化学废水。处理后，m（BOD5）/ m（CODCr）值大于0.6，CODCr去除率为64.6％。同时，在一定程度上去除了氨氮和铅。
微电解技术有效利用了膜技术，膜技术是一种物理处理技术，是当前最有前途的深度处理技术。常见的膜分离技术包括超滤，微滤，纳滤，电渗析和反渗透。 Juang等。利用超滤和反渗透技术处理高科技工业园区废水并加以再利用。结果表明，浊度，TOC和电导率的去除率均在95％以上，可直接排放或用作冷却水。朱学艳等人使用自制的中空纤维复合纳滤膜进一步处理了含甲基蓝的印染废水。结果表明，废水的脱色率大于99％，CODCr的去除率大于90％。固体废物是一种利用废物处理废物的处理技术。
